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      1)适合于硅材料的氧、碳含量的测定;

    2)可实现硅料中氧碳含量自动、快速、准确的测量;

    3)具备完整的谱图采集、光谱转换、光谱处理、光谱分析及输出功能,使得操作更简单、方便、灵活。

    4)全密封防潮、防尘干涉仪的设计使仪器对环境的适应能力更强。

    5)外置式红外光源部件的设计使得仪器具有更高的热学稳定性,无须动态调整就具有稳定的干涉度。

    6)高强度红外光源采用球形反射装置,可获得均匀、稳定的红外辐射。

    7)程控增益放大电路、高精度A/D转换电路的设计及嵌入式微机的应用,提高了仪器的精度及可靠性;

    8)光谱仪与计算机间通过USB方式进行控制和数据通讯,完全实现即插即用。

    9)通用微机系统,全中文应用软件界面友好、内容丰富。

    10)专用样品固定架;

    11)高稳定性和抗震性;

    12)保质期:12个月。

    技术参数:

    1)检测下限:1.0X1016cm-3(常温);

    2)检测硅料硅片厚度范围为:0.1~3.5mm;

    3)波数范围:7800cm-1~400cm-1

    4)分辨率:优于0.5 cm-1

    5)波数精度:±0.01 cm-1

    (1) CZ-Si(直拉硅)中氧含量精密度为±10%。

    (2) FZ-Si(区熔硅)中氧含量精密度为±20%,检测下限为1×1016 cm-3 。符合“硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法”国家标准(GB/T 1557-89)的要求。

    6)扫描速度:0.2~2.5 cm/s,微机控制,选择不同的扫描速度,档次连续可调。

    7) 信噪比:优于15,000:1(RMS值,在2100 cm-1 处,4 cm-1分辨率,DTGS探测器,1分钟数据采集。)

    8) 分数器:KBr基片镀锗

    9) 探测器:标准配置DTGS,任选MCT

    10)光源:高强度空气冷却红外光源

    数据系统:

    1) 通用微机,连接喷墨或激光打印机,可输出高质量的光谱图。

    2) 软件:全新中文MainFTOS软件:Windows9X/2000/XP操作系统下的通用操作软件系统。包括谱库检索软件、定量分析软件、谱图输出软件及专用红外谱库。

    仪器尺寸:

    1) 光学台: 63*52*24cm

    电源:

    1)交流:220V/50HZ

    2)功率:1000VA
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    首发网址:http://bj.jcwgw.net/qitashangwu/30743.html
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